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ASML 出货首款先进封装光刻机 TWINSCAN XT:260,生产提升 3 倍

10月16日,半导体设备巨头ASML在公布2025年第三季度财报时宣布,公司已出货其首款服务于先进封装的产品——TWINSCAN XT:260光刻机。

ASML 出货首款先进封装光刻机 TWINSCAN XT:260,生产提升 3 倍

这款XT:260光刻机采用i线光源,分辨率为400纳米。通过相场和剂量上的改进,该设备的生产效率达到了之前机型的四倍,在340mJ剂量下每小时可处理270片晶圆。这一进步将有助于满足客户在3D集成领域的需求。

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